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MEMS是一種將微電與機(jī)械工程融合到一起的工業(yè)技術(shù)，MEMS的發(fā)展涉及并影響著很多領(lǐng)域的科學(xué)研究與技術(shù)進(jìn)步，包括電子、機(jī)械、材料、物理學(xué)、化學(xué)、生物學(xué)、醫(yī)學(xué)等。通常，它的操作尺度在微米級(jí)別。

MEMS由尺寸為1－100微米的部件組成，一般MEMS設(shè)備的尺寸通常在20微米到一毫米之間。類似手機(jī)卡有Micro也有Nano，也有比MEMS更微型的機(jī)電系統(tǒng)，它的操作尺度在納米級(jí)別。這種與MEMS類似的技術(shù)，被稱為NEMS（nanoelectromechanical systems，納機(jī)電系統(tǒng)）。

MEMS的內(nèi)部通常包含一個(gè)，以及若干獲取外界信息的微型傳感器。也因?yàn)椴僮鞒叨刃?，比大型電子、機(jī)械系統(tǒng)更容易受環(huán)境影響，MEMS在設(shè)計(jì)時(shí)需要考慮靜電荷和磁矩等環(huán)境電磁作用，以及表面張力和粘度等流體動(dòng)力學(xué)的影響。

MEMS產(chǎn)業(yè)得以繁榮發(fā)展，離不開半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)加工技術(shù)的長足進(jìn)步。

「MEMS傳感器」是采用微電子和微機(jī)械加工技術(shù)生產(chǎn)出來的新型傳感器。得益于在微米尺寸工作的特性，MEMS可以完成一些傳統(tǒng)機(jī)械傳感器所不能實(shí)現(xiàn)的功能。這也成就了MEMS傳感器相對(duì)于傳統(tǒng)傳感器的一些優(yōu)勢，例如：體積小、重量輕、功耗低、可靠性高、成本低、適于批量化生產(chǎn)、易于集成等。

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